目 录

量测/检测设备行业：长期高回报、空间机会足  3

回顾KLA 46 年发展历程，内生外延打造全球龙头  4

量测/检测设备行业空间广阔，行业发展潜力足  9

量测/检测设备贯穿晶圆制造全过程，国产需求迫在眉睫  10

各类检测/量测设备技术同源性、通用性强，龙头值得长期看好  13

突破封锁形势严峻，量测/检测设备国产化成为必经之路  18

国内量测/检测设备企业同步发力，国产化替代踏上征程  20

精测电子：基本实现量测设备全面布局，深耕技术自研 . 20

中科飞测：部分细分品类已达到国际水平，积极探索高端路线 . 22

赛腾股份：“全球技术+中国市场”，绑定优质客户群 . 23

风险因素  23

表 目 录

表1：KLA 并购历程  4

表2：KLA 主要产品介绍 . 5

表3：量测设备在晶圆制造过程的主要测试项目  10

表4：上海精测光学量测系列产品  14

表5：武汉颐光椭偏仪系列产品  15

表6：上海睿励光学量测系列产品  15

表7：中科飞测光学量测系列产品  16

表8：中科飞测光学检测系列产品  16

表9：上海睿励光学检测系列产品  16

表10：东方晶源电子束检测系列产品  17

表11：精测电子电子束检测系列产品  17

图 目 录

图1：海外半导体设备企业收入占比（亿美元）  7

图2：2018-2022 海外半导体设备企业股价回报率，KLA 领跑（%）  7

图3：海外半导体设备企业收入（亿美元）  8

图4：海外半导体设备企业净利润（亿美元）  8

图5：海外半导体设备企业毛利率变化情况（%） . 8

图6：海外半导体设备企业净利率情况（%） . 8

图7：2021-2024 全球晶圆厂前道设备市场规模及预测（亿美元）  9

图8：2021 全球半导体设备市场规模占比（%）  9

图9：椭圆偏振仪原理图  10

图10：表面形貌测试原理图  11

图11：常见的CD-SEM 自动测量流程图 . 11

图12：确定套刻误差的示例  11

图13：暗场非图形圆片缺陷检测光学结构示意图  12

图14：电子束图形圆片缺陷检测设备结构示意图  12

图15：琼斯矩阵 vs 穆勒矩阵  13

图16：穆勒矩阵信息量测实例  13

图17：主要缺陷类型示例  14

图18：缺陷检测及缺陷复查流程图  17

图19：各类半导体前道量测/检测设备市场规模及国内企业布局情况  18

图20：2010-2022 KLA 在中国大陆营收及同比增速（亿美元，%）  19

图21：精测电子公司整体架构  20

图22：精测电子营业收入及同比（亿元，%） . 21

图23：精测电子业绩、毛利率及净利率变化（亿元，%） . 21

图24：精测电子研发投入及研发费用率（亿元，%） . 21

图25：上海精测营业收入及净利润（万元）  21

图26：中科飞测历史沿革  22

图27：中科飞测收入及净利润快速增长（亿元）  22

图28：2021 年中科飞测收入拆分 . 22

图29：OPTIMA 核心产品介绍  23